특징 PFAS FREE 제품으로 불소 성분이 없어 친환경적이며 사람이 섭취해도 문제없는 반도체 공정용 냉각 유체.
적용 반도체 장비에 사용 중인 PFAS Coolant(FC-3283 등)를 대체할 수 있는 동등 냉각 성능 평가 완료.
| Property | Unit | 자사제품(탄화수소계열) | 타사제품(불소계열) | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| GCL-90 | GCL-70 | GCL-50 | GCL-10 | FC-3283 | FC-40 | HT170 | HT230 | ||
| Appearance | - | Clear, Colorless | Clear, Colorless | Clear, Colorless | |||||
| Temperature Range | ℃ | -50~140 | -30~160 | -20~190 | -5~250 | -40~120 | -30~155 | -30~160 | -10~230 |
| Boiling Point | ℃ | 180 | 290 | 260 | 320 | 128 | 165 | 170 | 230 |
| Pour Point | ℃ | -90 | -70 | -48 | -18 | -65 | -57 | -97 | -77 |
| Flash Point | ℃ | 144 | 166 | 192 | 252 | - | - | - | - |
| Density | g/㎤ | 0.79 | 0.79 | 0.83 | 0.84 | 1.82 | 1.86 | 1.77 | 1.82 |
| Kinematic Viscosity (@25°C) | cSt | 5.3 | 7.7 | 17.8 | 57.8 | 0.75 | 2.2 | 1.8 | 4.4 |
| Vapor Pressure | kPa | 0.001 | 0.001 | 0.001 | 0.001 | 1.44 | 0.29 | 0.1 | 0.004 |
| Specific Heat | cal/g-k | 0.49 | 0.46 | 0.46 | 0.49 | 0.26 | 0.26 | 0.23 | 0.23 |
| Thermal Conductivity | W/m·K | 0.14 | 0.14 | 0.14 | 0.14 | 0.066 | 0.065 | 0.065 | 0.065 |
| Volume Resistivity | Ω-cm | >1015 | >1015 | >1015 | >1015 | 1015 | 1015 | 1.5x1015 | 6x1015 |
| GWP(Global Warming Potential) | 100year | less than 1 | 5000 | 5000 | 10000 | 10000 | |||
| Material | Synthetic Hydrocarbon | Fluorocarbon | PFPE(Perfluoropolyether) | ||||||
