특징 반도체 공정용 정밀 온도조절 냉각장치
특허기술 접목된 넓은 온도범위 온도제어 특화시스템
용도 프로브테스트, 패키지테스트, 모듈테스트 공정용 냉각장비
| Name | Temp.Range | Temp. Stability | Cooling Capacity | Flow Rate (lpm) |
|---|---|---|---|---|
| Iron-3 | 30 ℃ ~ + 150 ℃ |
±0.1 ℃ | 1.0KW at 125 ℃ |
Max, 8 lpm |
| Iron-7 | -50 ℃ ~ + 95 ℃ |
±0.1 ℃ | 0.5Kw (at -50 deg ℃) |
Max, 2.5 lpm |
| Iron-10 | -50 ℃ ~ + 25 ℃ |
±0.1 ℃ | 2KW(+@) (at -50 deg ℃) |
Max, 5 lpm |
특징 냉각된 Dry Air로 타겟냉각 및 온도조절.
Coolant 없이 냉각 가능한 비용절감 솔루션.
용도 프로버, 핸들러, 실장기등 Cold Test가 필요한 반도체 공정장비.
| Name | Temp.Range | Temp. Stability | Cooling Capacity | Flow Rate (lpm) |
|---|---|---|---|---|
| Nos-1 | -10 ℃ ~ + 30 ℃ |
±0.1 ℃ | 1Kw (at +20.0 deg ℃) |
Max, 200 lpm |
| Nos-2 | -10 ℃ ~ + 30 ℃ |
±0.1 ℃ | 2Kw (at +20.0 deg ℃) |
Max, 400 lpm |
| Nos-3 | -10 ℃ ~ + 30 ℃ |
±0.1 ℃ | 3Kw (at +20.0 deg ℃) |
Max, 605 lpm |
| Nos-4 | -10 ℃ ~ + 30 ℃ |
±0.1 ℃ | 4Kw (at +20.0 deg ℃) |
Max, 800 lpm |
| Nos-5 | -10 ℃ ~ + 30 ℃ |
±0.1 ℃ | 5Kw (at +20.0 deg ℃) |
Max, 1,000 lpm |
| Nos-6 | -50 ℃ ~ + 30 ℃ |
±0.1 ℃ | 1Kw (at -50.0 deg ℃) |
Max, 600 lpm |
특징 사용공정조건 및 사용유체 특성에 최적화된 발열부하 제어장치.
상온대역(25℃) 부터 고온대역(200℃) 제어솔루션.
용도 극저온 Test가 아닌 상온상태의 발열해소 및 온도조절이 필요한 공정장비.
| Name | Temp.Range | Temp. Stability | Cooling Capacity | Flow Rate (lpm) |
|---|---|---|---|---|
| Thor-2 | +25 ℃ ~ + 50 ℃ |
±0.1 ℃ | 2kW (at +30 deg ℃) | Max, 20 lpm |
| Thor-3 | +25 ℃ ~ + 50 ℃ |
±0.1 ℃ | 3kW (at +30 deg ℃) | Max, 20 lpm |
| Thor-5 | +25 ℃ ~ + 50 ℃ |
±0.1 ℃ | 5kW (at +30 deg ℃) | Max, 25 lpm |
| Thor-8 | +25 ℃ ~ + 50 ℃ |
±0.1 ℃ | 8kW (at +30 deg ℃) | Max, 30 lpm |
| Thor-10 | +25 ℃ ~ + 50 ℃ |
±0.1 ℃ | 10kW (at +30 deg ℃) | Max, 30 lpm |
| Thor-25 | +25 ℃ ~ + 50 ℃ |
±0.1 ℃ | 25kW (at +30 deg ℃) | Max, 40 lpm |
