특징 차고엔지니어링의 극저온 냉각 기술은 기존의 프레온 가스를 사용하는 Chiller와는 달리 헬륨을 이용한 친환경 냉각 기술입니다. 기후변화의 주범인 프레온 가스를 대체한 친환경 헬륨을 사용하는 Cryo Engine은 환경을 파괴하지 않고 가연성, 독성, 인체 유해성이 없는 저전력, 고효율의 차세대 냉각솔루션 입니다.
적용 기존의 Chiller 시스템을 대체할 수 있는 차세대 냉각 솔루션으로, 친환경·소형화·극저온 성능을 동시에 갖춘 이 기술은 반도체 웨이퍼, 칩, 모듈 테스트에 효과적으로 적용될 수 있습니다.
| Name | Temp.Range | Temp. Stability | Cooling Capacity | Input Power |
|---|---|---|---|---|
| 700W | -200℃ to -20℃ | ±0.1 ℃ | at -20℃ | 1P.200V.5A (50/60Hz) |
| 350W | -200℃ to -20℃ | ±0.1 ℃ | at -50℃ | 1P.200V.5A (50/60Hz) |
| 100W | -200℃ to -20℃ | ±0.1 ℃ | at -150℃ | 1P.200V.5A (50/60Hz) |
