특징 프레온 가스사용 없이 친환경 냉매인 헬륨을 활용한 극저온 냉각장치.
기존 냉각장치 Chiller 대체가 가능한 솔루션.
용도 반도체 공정장비 내부에 탑재가능한 극저온 빌트인 냉각시스템.
Name | Temp.Range | Temp. Stability | Cooling Capacity | Input Power |
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Marble-1.0L | -200℃ to -20℃ | ±0.1 ℃ | 250W @ -60℃ | 1P.200V.5A (50/60Hz) |
300W @ -50℃ | ||||
350W @ -40℃ | ||||
Marble-1.0A | -200℃ to -20℃ | ±0.1 ℃ | 150pm @ -90℃ | 1P.200V.5A (50/60Hz) |
300Lpm @ -60℃ | ||||
450Lpm @ -40℃ | ||||
Marble-1.0C | -200℃ to -20℃ | ±0.1 ℃ | 150W @ -150℃ | 1P.200V.5A (50/60Hz) |
300W @ -110℃ | ||||
400W @ -90℃ |