특징 프레온 가스사용 없이 친환경 냉매인 헬륨을 활용한 극저온 냉각장치.
기존 냉각장치 Chiller 대체가 가능한 솔루션.
용도 반도체 공정장비 내부에 탑재가능한 극저온 빌트인 냉각시스템.
| Name | Temp.Range | Temp. Stability | Cooling Capacity | Input Power |
|---|---|---|---|---|
| 700W | -200℃ to -20℃ | ±0.1 ℃ | at -20℃ | 1P.200V.5A (50/60Hz) |
| 350W | -200℃ to -20℃ | ±0.1 ℃ | at -50℃ | 1P.200V.5A (50/60Hz) |
| 100W | -200℃ to -20℃ | ±0.1 ℃ | at -150℃ | 1P.200V.5A (50/60Hz) |
